Graphitteile zur PVD- und CVD-Beschichtung


  • Bei der Erzeugung von dünnen TiC- und TiN-Schichten in PVD- und CVD-Verfahren findet Graphit und die aus diesem Werkstoff gefertigten Teile Verwendung.
  • Dank der hohen Wärmebeständigkeit sowie chemischen und mechanischen Festigkeit von Graphit werden bei den vorgenannten Verfahren folgende Produkte eingesetz

  • Graphittragringe
  • perforierte Unterlagen
  • Mischer
  • Halter
  • Zuleitungen